GB/T 24582-2009
酸浸取.電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)
Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
GBT24582-2009, GB24582-2009
2024-03
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 24582-2009
- 別名
- GBT24582-2009, GB24582-2009
- 發(fā)布
- 2009年
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 替代標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 24582-2023
- 當(dāng)前最新
- GB/T 24582-2023
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- ASTM D5127 ISO 14644-1 SEMI C28 SEMI C30 SEMI C35
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質(zhì)，并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測多晶硅表面上的金屬雜質(zhì)痕量分析方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅以及其他元素如鋁的檢測。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種棒、塊、粒、片狀多晶表面金屬污染物的檢測。由于塊、片或粒形狀不規(guī)則，面積很難準(zhǔn)確測定，故根據(jù)樣品重量計算結(jié)果，使用的樣品重量為50 g～300 g，檢測限為0.01 ng/mL。 酸的濃度、組成、溫度和浸取時間決定著表面腐蝕深度和表面污染物的浸取效益。在這個實驗方法中腐蝕掉的樣品重量小于樣品的重量的1%。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于重量為25 g～5000 g的樣品的測定，為了達(dá)到仲裁的目的，該實驗方法規(guī)定樣品的重量為約300 g。