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BS ISO 22415:2019
表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜分析 有機(jī)材料氬簇濺射深度剖析中產(chǎn)量體積的測定方法

Surface chemical analysis. Secondary ion mass spectrometry. Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials


標(biāo)準(zhǔn)號
BS ISO 22415:2019
發(fā)布
2019年
發(fā)布單位
英國標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會
當(dāng)前最新
BS ISO 22415:2019
 
 
適用范圍
ISO 22415 是什么? ISO 22415 指定了一種測量和報告特定有機(jī)材料的氬簇濺射產(chǎn)量體積的方法。該方法需要一個或多個指定材料的測試樣品,作為已知厚度在 50 至 1000 納米之間的均勻薄膜,位于平坦基板上,該基板具有與指定材料不同的化學(xué)成分。 ISO 22415適用于指定材料層深度成分均勻的測試樣品,如果指定材料中化合物的深度分布不均勻則不適用。 ISO 22415 適用于...的儀器

專題


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