400-6699-117轉(zhuǎn)1000
您好,歡迎您查看分析測(cè)試百科網(wǎng),請(qǐng)問(wèn)有什么幫助您的?
誠(chéng)信認(rèn)證:
工商注冊(cè)信息已核實(shí)!參考報(bào)價(jià): | 面議 | 型號(hào): | EVG 光刻機(jī)610系列 |
品牌: | EVG | 產(chǎn)地: | 奧地利 |
關(guān)注度: | 1078 | 信息完整度: | |
樣本: | 典型用戶: | 暫無(wú) |
400-6699-117轉(zhuǎn)1000
EVG公司是一家致力于半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球供應(yīng)商,其豐富的產(chǎn)品系列包括:涂膠和噴膠/顯影機(jī)/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機(jī)、基片檢測(cè)系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時(shí)鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。
目前已有數(shù)千臺(tái)設(shè)備安裝在世界各地,被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件,SOI基片制造,3D封裝,納米壓印,化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等領(lǐng)域。
EVG610是一款非常靈活的、適用于研發(fā)和小批量試產(chǎn)的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),可處理zui大200mm之內(nèi)的各種規(guī)格的晶片。EVG610支持各種標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝,例如:真空、軟、硬接觸和接近曝光;也支持其他特殊的應(yīng)用,如鍵合對(duì)準(zhǔn)、納米壓印光刻、微接觸印刷等。EVG610系統(tǒng)中的工具更換非常簡(jiǎn)便快捷,每次更換都可在幾分鐘之內(nèi)完成,而不需要專門的工程人員和培訓(xùn),非常適合大學(xué)、研究所的科研實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)。
二、應(yīng)用范圍
EVG光刻機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、硅片凸點(diǎn)、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域,涵蓋了微納電子領(lǐng)域微米或亞微米級(jí)線條器件的圖形光刻應(yīng)用。
三、主要特點(diǎn)
u 支持背面對(duì)準(zhǔn)光刻和鍵合對(duì)準(zhǔn)工藝
u 自動(dòng)的微米計(jì)控制曝光間距
u 自動(dòng)契型補(bǔ)償系統(tǒng)
u 優(yōu)異的全局光強(qiáng)均勻度
u 免維護(hù)單獨(dú)氣浮工作臺(tái)
u zui小化的占地面積
u Windows圖形化用戶界面
微流控芯片加工:EVG 610單面/雙面光刻機(jī)廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件信息由北京亞科晨旭科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于 微流控芯片加工:EVG 610單面/雙面光刻機(jī)廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢。
注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
Copyright ?2007-2024 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號(hào) 京公網(wǎng)安備1101085018 電信與信息服務(wù)業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)許可證:京ICP證110310號(hào)