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工商注冊(cè)信息已核實(shí)!參考報(bào)價(jià): | 面議 | 型號(hào): | EVG 301 單晶圓清洗系統(tǒng) |
品牌: | EVG | 產(chǎn)地: | 奧地利 |
關(guān)注度: | 1120 | 信息完整度: | |
樣本: | 典型用戶: | 暫無(wú) |
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EVG 301 Single Wafer Cleaning System
EVG 301 單晶圓清洗系統(tǒng)
研發(fā)型單晶圓清洗系統(tǒng)
EVG301半自動(dòng)化單晶片清洗系統(tǒng)采用一個(gè)清洗站,該清洗站使用標(biāo)準(zhǔn)的去離子水沖洗以及超音速,毛刷和稀釋化學(xué)藥品作為附加清洗選項(xiàng)來(lái)清洗晶片。
EVG301具有手動(dòng)加載和預(yù)對(duì)準(zhǔn)功能,是一種多功能的R&D型系統(tǒng),適用于靈活的清潔程序和300 mm的能力。
EVG301系統(tǒng)可與EVG的晶圓對(duì)準(zhǔn)和鍵合系統(tǒng)結(jié)合使用,以消除晶圓鍵合之前的任何顆粒。旋轉(zhuǎn)夾頭可用于不同的晶圓和基板尺寸,從而可以輕松設(shè)置不同的工藝。
特征
使用1 MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器(可選)進(jìn)行高效清潔
單面清潔刷(選件)
用于晶圓清洗的稀釋化學(xué)品
防止從背面到正面的交叉污染
完全由軟件控制的清潔過(guò)程
選件
帶有紅外檢查的預(yù)粘接臺(tái)
非SEMI標(biāo)準(zhǔn)基材的工具
技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸)200、100-300毫米
清潔系統(tǒng):開(kāi)室,旋轉(zhuǎn)器和清潔臂
腔室:由PP或PFA制成(可選)
咨詢:182 6326 2536(微信同號(hào))
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注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
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