400-6699-117轉(zhuǎn)1000
您好,歡迎您查看分析測試百科網(wǎng),請問有什么幫助您的?
誠信認證:
工商注冊信息已核實!參考報價: | 面議 | 型號: | EVG 850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng) |
品牌: | EVG | 產(chǎn)地: | 奧地利 |
關(guān)注度: | 1081 | 信息完整度: | |
樣本: | 典型用戶: | 暫無 |
400-6699-117轉(zhuǎn)1000
EVG 850 TB Automated Temporary Bonding System
EVG 850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng)
全自動將臨時晶圓晶圓粘合到剛性載體上
技術(shù)數(shù)據(jù)
全自動的臨時粘合系統(tǒng)可在一個自動化工具中實現(xiàn)整個臨時粘合過程-從臨時粘合劑的施加,烘焙,將設(shè)備晶圓與載體晶圓的對準(zhǔn)和粘合開始。與所有EVG的全自動工具一樣,設(shè)備布局是模塊化的,這意味著可以根據(jù)特定過程對吞吐量進行優(yōu)化??蛇x的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監(jiān)控和參數(shù)優(yōu)化。
由于EVG具有開放式平臺,因此可以使用不同類型的臨時粘合粘合劑,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶。
特征
開放式膠粘劑平臺
各種載體(硅,玻璃,藍寶石等)
適用于不同基板尺寸的橋接工具功能
提供多種裝載端口選項和組合
配方控制系統(tǒng)
實時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)
完全集成的SECS / GEM接口
可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路
EVG850 TB技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸):zui長300毫米,可能有超大的托架
不同的基材/載體組合
組態(tài)
外套模塊
帶有多個熱板的烘烤模塊
通過光學(xué)或機械對準(zhǔn)來對準(zhǔn)模塊
鍵合模塊
咨詢:182 6326 2536(微信同號)
EVG 850 TB Automated Temporary Bonding System自動化臨時鍵合信息由北京亞科晨旭科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于EVG 850 TB Automated Temporary Bonding System自動化臨時鍵合報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
Copyright ?2007-2024 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號 京公網(wǎng)安備1101085018 電信與信息服務(wù)業(yè)務(wù)經(jīng)營許可證:京ICP證110310號