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| 參考報價： | 面議 | 型號： | EVG 805 脫膠系統(tǒng) |
| 品牌： | EVG | 產(chǎn)地： | 奧地利 |
| 關(guān)注度： | 1093 | 信息完整度： |  |
| 樣本： | 典型用戶： | 暫無 |
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VG 805 Debonding System
EVG 805 脫膠系統(tǒng)
薄晶圓脫膠
EVG805是半自動系統(tǒng)，用于剝離臨時粘合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時粘合膠組成。 該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。 可以將薄晶圓卸載到單個基板載體上，以在工具之間安全可靠地運輸。
特征
開放式膠粘劑平臺
脫膠選項：
熱滑脫膠
脫膠
機(jī)械脫膠
配方控制系統(tǒng)
實時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)
薄晶圓處理的獨特功能
多種卡盤設(shè)計，可支撐zui大300 mm的晶圓/基板和載體
高形貌的晶圓處理
技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑（基板尺寸）
晶片zui大300 mm
高達(dá)12英寸的膠卷相框
組態(tài)
咨詢：182 6326 2536（微信同號）
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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
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