TRYMAX 等離子除膠機(jī)    型號(hào)：NEO系列

亞科電子的合作伙伴Trymax公司于2003年在荷蘭成立，該公司主要提供半導(dǎo)體等離子清洗、去膠、活化設(shè)備。

Trymax目前擁有半自動(dòng)、全自動(dòng)系列設(shè)備供用戶選擇，目前已有上百臺(tái)設(shè)備安裝在世界各地，被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、微流體器件、SOI基片制造、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體器件、功率器件和光電顯示等領(lǐng)域。

  一、設(shè)備工作原理

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，該狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

Trymax NEO Series就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，通過射頻/微波電源在一定的真空條件下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

  二、Trymax NEO Series 應(yīng)用

前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；離子注入后，光刻后，鍍膜前等工藝過程； 后道/先進(jìn)封裝/3D IC：Descum Bumping；MEMS；Plasma Treatment；Wafer Cleaning等。

DispenseMate? 系統(tǒng)提供的點(diǎn)膠控制技術(shù)基于NordsonASYMTEK最先進(jìn)的在線點(diǎn)膠系統(tǒng)，包括閉環(huán)控制DC伺服運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、Jet- on-the-Fly噴射點(diǎn)膠功能以及 面向客戶的可直觀編程的Fluidmove ?軟件。

其它的標(biāo)準(zhǔn)配置還包括一個(gè)集成的機(jī)械高度探測(cè)器和一個(gè)具備全自動(dòng)識(shí)別可視系統(tǒng)，該系統(tǒng)帶有程序控制光源。此外，標(biāo)準(zhǔn)配置還包括可編程的閉環(huán)噴嘴以及經(jīng)過程序設(shè)定可監(jiān)測(cè)溫度和記錄數(shù)據(jù)的針頭加熱控制。同時(shí)還包括可實(shí)現(xiàn)小點(diǎn)點(diǎn)膠的動(dòng)態(tài)點(diǎn)膠控制。

離線 MFC/CPJ是D-593型的標(biāo)準(zhǔn)性能， 通過在用戶的數(shù)值范圍內(nèi)稱量樣品和手動(dòng)輸入測(cè)量值到Fluidmove中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)流量計(jì)算。

Fluidmove的編程程序可向上兼容并能輕松轉(zhuǎn)移到其他Nordson ASYMTEK的在線系統(tǒng)， 包括 Spectrum II^TM和Quantum?  點(diǎn)膠平臺(tái)。

此外，F(xiàn)luidmove軟件提供SPC數(shù)據(jù)記錄，用于工藝流程追溯和可選的CAD導(dǎo)入。

從批量生產(chǎn)到大規(guī)模生產(chǎn)，用戶將始終得到Nordson ASYMTEK 遍布全球的經(jīng)驗(yàn)豐富的工程、應(yīng)用發(fā)展和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)的支持。

NEO3400系列是Trymax半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先的NEO系列先進(jìn)等離子灰化和蝕刻產(chǎn)品的最新成員之一。

它可以滿足最高產(chǎn)量，適應(yīng)每個(gè)生產(chǎn)階段和預(yù)算。 NEO 3000系統(tǒng)可配置任何現(xiàn)有的Trymax NEO工藝模塊，并與直徑達(dá)300mm的基板兼容。小尺寸和模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)您的需要靈活配置。

?特征

 - 最大300毫米晶圓尺寸/基板尺寸

-3或4個(gè)裝載端口

-4軸雙臂機(jī)器人用橫臂搬運(yùn)

-2或4個(gè)處理室。

-4種不同的處理室技術(shù)：

?下游微波（2.45 GHz）

?射頻偏壓（13.56MHz）

?雙源（微波，射頻偏壓）

?DCP（RF偏置，直接耦合等離子）

 - 優(yōu)異的均勻性和可重復(fù)性

 - 機(jī)械吞吐量> 300wph

 - 緊湊的足跡

 - 非常低的擁有成本

 - 完全數(shù)字控制，Devicenet以太網(wǎng)

 - 基于窗口的工業(yè)計(jì)算機(jī)

?應(yīng)用程序

 - 阻擋條帶

-Descum處理

 - 去除聚合物

 - 郵寄高劑量植入帶

 - 氮化硅蝕刻應(yīng)用

-MEMS應(yīng)用程序

 - 先進(jìn)的包裝加工（PR，PI，BCB，PBO）

NEO2400系列是Trymax半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先的NEO系列先進(jìn)等離子灰化和蝕刻產(chǎn)品的最新成員之一。

NEO 2400系統(tǒng)可配置任何現(xiàn)有的處理模塊，并與直徑達(dá)200mm的基板兼容。

?特征

 - 最大200mm晶圓尺寸/基板尺寸

-4個(gè)集成的SMIF索引器或4個(gè)開放式卡帶站

-4軸雙臂機(jī)器人用橫臂搬運(yùn)

 - 可選的冷卻站和切口對(duì)準(zhǔn)器

-2或4個(gè)處理室

-4種不同的處理室技術(shù)：

?下游微波（2.45 GHz）

?RF偏壓（13.56 MHz）

?雙源（微波，射頻偏壓）

?DCP（RF偏壓，直接耦合等離子）

 - 優(yōu)異的均勻性和可重復(fù)性

 - 機(jī)械吞吐量> 300wph

 - 緊湊的足跡

 - 非常低的擁有成本

 - 完全數(shù)字控制的Devicenet，以太網(wǎng)

 - 基于窗口的工業(yè)計(jì)算機(jī)

?應(yīng)用程序

 - 阻擋條帶

-Descum處理

 - 去除聚合物

 - 郵寄高劑量植入帶

 - 氮化硅蝕刻應(yīng)用

-MEMS應(yīng)用程序

 - 先進(jìn)的包裝加工（PR，PI，BCB，PBO）

咨詢：182 6326 2536（微信同號(hào)）

TRYMAX 等離子除膠機(jī) 型號(hào)：NEO系列信息由北京亞科晨旭科技有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于TRYMAX 等離子除膠機(jī) 型號(hào)：NEO系列報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途