400-6699-117轉(zhuǎn)1000
您好,歡迎您查看分析測(cè)試百科網(wǎng),請(qǐng)問(wèn)有什么幫助您的?
誠(chéng)信認(rèn)證:
工商注冊(cè)信息已核實(shí)!參考報(bào)價(jià): | 面議 | 型號(hào): | EVG800系列鍵合機(jī):臨時(shí)鍵合解鍵合805DB |
品牌: | EVG | 產(chǎn)地: | 奧地利 |
關(guān)注度: | 1149 | 信息完整度: | |
樣本: | 典型用戶: | 暫無(wú) | |
價(jià)格范圍 | 150萬(wàn)-200萬(wàn) |
400-6699-117轉(zhuǎn)1000
EVG800系列鍵合機(jī):臨時(shí)鍵合解鍵合805DB
一、 簡(jiǎn)介
EVG公司成立于1980年,公司總部和制造廠位于奧地利,在美國(guó)、日本和臺(tái)灣設(shè)有分公司,并在其他各地設(shè)有銷售代理及售后服務(wù)部,產(chǎn)品和服務(wù)遍及世界各地。
EVG公司是一家致力于半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球供應(yīng)商,其豐富的產(chǎn)品系列包括:涂膠和噴膠/顯影機(jī)/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機(jī)、基片檢測(cè)系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時(shí)鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。
目前已有數(shù)千臺(tái)設(shè)備安裝在世界各地,被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件,SOI基片制造,3D封裝,納米壓印,化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等領(lǐng)域。
EVG公司是世界上頂jian的基片鍵合設(shè)備制造商,其鍵合工藝被認(rèn)定為MEMS領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)工藝。EVG鍵合系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)陽(yáng)極鍵合、熱壓鍵合、中間層粘著鍵合、 玻璃漿料鍵合、硅-硅直接鍵合、共晶鍵合及SOI鍵合等所有鍵合工藝。EVG鍵合設(shè)備型號(hào)齊全,從手動(dòng)裝片系統(tǒng)到全自動(dòng)片盒送片多工藝室系統(tǒng),可以滿足不同客戶的應(yīng)用要求。無(wú)論手動(dòng)/半自動(dòng)裝片系統(tǒng), 鍵合工藝全部自動(dòng)完成;而且,獨(dú)特的基片夾具及鍵合室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高精度的圓片鍵合;此外上/下極板為獨(dú)立分別加熱控制,zui大加熱溫度可達(dá)650度。
EVG805DB是一款半自動(dòng)的解鍵合設(shè)備,用于將已加工完成的薄器件片從硅、藍(lán)寶石或其它材料的承載片上分離。根據(jù)臨時(shí)鍵合中間材質(zhì)的不同,可使用不同的分離方法,如熱解、滑移,剝離,紫外活化等。EVG805DB還可以匹配EVGzui新的技術(shù)模塊EZD,使硅片可以在室溫下解鍵合。
二、應(yīng)用范圍
EVG805DB是一款主要用于薄基片加工領(lǐng)域鍵合分離設(shè)備。廣泛應(yīng)用于存儲(chǔ)器,CMOS,3D-TSV,功率器件(如IGBTs),化合物半導(dǎo)體(如高亮度LEDs或RF功率放大器),以及其它新型需要薄片加工的領(lǐng)域(如MEMS,RFID-tags,柔性顯示器等)。
三、主要特點(diǎn)
u 半自動(dòng)工工藝處理
u 菜單控制
u 工藝參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控
u 不同的卡盤(pán)設(shè)計(jì)用以支持不同規(guī)格的基片(zui大300mm)
u 單獨(dú)薄載片用以承接分離的器件基片
18263262536(微信同號(hào));
EVG800系列鍵合機(jī):臨時(shí)鍵合解鍵合805DB信息由北京亞科晨旭科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于EVG800系列鍵合機(jī):臨時(shí)鍵合解鍵合805DB報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢。
注:該產(chǎn)品未在中華人民共和國(guó)食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
Copyright ?2007-2024 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP備07018254號(hào) 京公網(wǎng)安備1101085018 電信與信息服務(wù)業(yè)務(wù)經(jīng)營(yíng)許可證:京ICP證110310號(hào)